在電工產(chǎn)品行業(yè)如變壓器、互感器、電容器等真空干燥的工藝過程中，要求真空腔體在某一特定壓力范圍能抽除大量的水蒸氣和溶劑，而且在干燥終止時，要達(dá)到較低的壓力。
比如一臺中型變壓器，其中絕緣材料的含水量達(dá)400～500 kg，整個干燥周期為70h，要求真空系統(tǒng)在45 mbar的入口壓力下，在48h內(nèi)抽除90%～95%的含水量，即每小時蒸氣的能力要在15kg左右，而且在干燥結(jié)束后仍然恢復(fù)到原有的壓力10-2 mbar。
一、蒸汽處理裝置原理
（1）在真空狀態(tài)下，當(dāng)水或蒸汽的溫度高于沸點時，它們是以氣體狀態(tài)進(jìn)入泵腔。
（2）滑閥泵本身是一個加熱源，液環(huán)泵是給滑閥泵的分離器提供一個低壓，所以排出到分離器的水或其他蒸汽亦是處在真空狀態(tài)，而且溫度高到可以使它們保持在氣體狀態(tài)，微小的液滴都會在分離器內(nèi)被蒸發(fā)。
（3）排到液環(huán)泵的水或其他蒸汽，由于液環(huán)泵內(nèi)的溫度比較低，它們被冷凝后成為密封液的一部分。
為了不讓蒸汽在泵內(nèi)被冷凝，這種泵的油溫要夠高，一般設(shè)定在60～75℃范圍，而高于80℃的油溫會使真空泵油被氧化，這個所要求的油溫可以通過自動調(diào)節(jié)進(jìn)人到滑閥泵的冷卻水量來控制。
假如在處理水蒸氣時，滑閥泵工作在65℃，則安裝在滑閥泵排氣管道上的真空溢流閥要設(shè)定在15 000～20 000 Pa，即低于水在65℃下的飽和蒸汽壓。
油泵在真空狀態(tài)下要能夠正常運行，油壓要保持在0.2～0.4 MPa，連續(xù)供油。
二、蒸汽處理裝置優(yōu)點
1、能處理大量可凝性氣體或揮發(fā)性氣體。
2、被抽蒸汽不會在泵中被冷凝，減少了對金屬表面的腐蝕。
3、不讓油污染，換油次數(shù)大大減少，運行成本減少。
4、消掉了由于油被污染所造成的性能減少現(xiàn)象。
5、在濕式工藝中能維持低的工作壓力。
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